ICS 77.180 H91 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉 Chemical vapor deposition furnace 2015-04-30发布 中华人民共和国工业和信息化部发布 2015-10-01实施 前言 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）提出并归口。 本标准起草单位：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。 本标准主要起草人：戴煜、胡祥龙、胡高健、羊建高、马卫东、戴晓蕾、周岳兵、吴艳华。 1 范围 本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及合同（或订货单）内容。 本标准适用于化学气相沉积炉设备。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期版本适用；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有修改单）适用。 GB/T 3163-2007 真空技术术语 GB 5959.1 电热装置的安全 第1部分：通用要求 GB 5959.4 电热装置的安全 第4部分：对电阻加热装置的特殊要求 GB/T 10066.1-2004 电热设备的试验方法 第1部分：通用部分 GB/T 10066.4-2004 电热设备的试验方法 第4部分：间接电阻炉 GB/T 10067.1-2005 电热装置基本技术条件 第1部分：通用部分 GB/T 10067.4-2005 电热装置基本技术条件 第4部分：间接电阻炉 JB/T 10550-2006 真空技术 真空烧结炉 YS/T 778-2011 真空脱脂烧结炉 3 术语和定义 GB/T 3163-2007、GB/T 10066.4-2004、JB/T 10550-2006、YS/T 778-2011界定的术语和定义适用于本文件。 4 要求 4.1 分类 化学气相沉积炉按结构形式分为卧式化学气相沉积炉和立式化学气相沉积炉两种类型，按炉型及工作区域尺寸分为13种型号。 4.2 型号表示规则 4.2.1 卧式化学气相沉积炉型号表示 由HCVD（H表示卧式，CVD表示化学气相沉积）与工作区域尺寸（宽×高×长）组成。例如：工作区域尺寸为1000 mm×1000 mm×1500 mm时，型号表示为HCVD-101015。 4.2.2 立式化学气相沉积炉型号表示 由VCVD（V表示立式，CVD表示化学气相沉积）与工作区域尺寸（直径×高）组成。例如：直径300 mm、高500 mm时，型号表示为VCVD-0305。 4.3 化学气相沉积炉总体结构 化学气相沉积炉主要由炉体、工艺沉积系统、真空系统、冷凝捕集系统、水冷系统、尾气处理系统及电气控制系统等组成。总体设计要求应符合JB/T 10550-2006第5章规定。 4.4 卧式化学气相沉积炉 卧式化学气相沉积炉可根据需求采用前后双开门或单开门结构，由水平方向装料和出料，其结构由炉体主体、保温加热系统、水冷系统、冷凝捕集系统、真空系统、工艺沉积系统及尾气处理系统等组成。 4.5 立式化学气相沉积炉 立式化学气相沉积炉可采用下开门、上开门或上下双开门结构，由竖直方向装料和出料，其结构由炉体主体、保温加热系统、工作平台、水冷系统、冷凝捕集系统、真空系统、工艺沉积系统及尾气处理系统等组成。 4.6 基本参数 化学气相沉积炉的基本参数按不同型号分类设置，卧式与立式设备分别对应不同工作区域尺寸系列型号。