ICS 29.045 H81 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 43—2011 代替 YS/T 43—92 高纯砷 High-purity arsenic 2011-12-20发布 2012-07-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 中国标准出版社出版发行 北京市朝阳区和平里西街甲2号（100013） 北京市西城区三里河北街16号（100045） 网址：www.spc.net.cn 发行中心：（010）51780235 总编室：（010）64275323 读者服务部：（010）68523946 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷 各地新华书店经销 开本880×1230 1/16 印张0.5 字数9千字 2012年6月第一次印刷 2012年6月第一版 书号：155066·2-23624 定价：14.00元 如有印装差错由本社发行中心调换 版权专有 侵权必究 举报电话：（010）68510107 前言 本标准代替YS/T 43—1992《高纯砷》。 本标准是在YS/T 43—1992基础上修订而成，主要变化如下： 1）产品分类中增加牌号As-07； 2）检测杂质元素扩展为镁、铬、镍、铜、锌、锑、铅、铋、钠、钾、铝、银、钙、铁等14种元素； 3）As-05牌号增加钠、钾、铋等杂质元素； 4）As-06牌号调整检测元素组成，取消硫、硒并增加钠、钾、铋； 5）采用ICP-MS测定金属杂质，硫、硒仍采用极谱法； 6）杂质浓度单位采用1×10⁻⁷%（ppbwt）表示； 7）完善包装、运输、贮存要求，并要求提供安全技术说明书； 8）增加订货合同内容。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。 起草单位：峨嵋半导体材料厂、峨眉山嘉美高纯材料有限公司。 主要起草人：杨卫东、程高明、邹同贵、王飞、廖敏。 1 范围 本标准规定了高纯砷的分类和标记、要求、试验方法、检验规则、产品标识、包装、运输及贮存等内容。 本标准适用于以工业砷为原料，经升华、氯化、精馏、氢还原等工艺制得的高纯砷产品，纯度不小于99.999%、99.9999%、99.99999%。产品主要用于Ⅲ-V族化合物半导体材料、外延源及半导体掺杂剂等领域。 2 规范性引用文件 本文件引用的下列标准对于本文件的应用必不可少。 GB 16483 化学品安全技术说明书编写规定 JT 617 汽车运输危险货物规则 YS/T 34.1—2011 高纯砷化学分析方法 ICP-MS测定杂质含量 YS/T 34.2—2011 高纯砷化学分析方法 极谱法测定硒量 YS/T 34.3—2011 高纯砷化学分析方法 极谱法测定硫量 3 要求 3.1 分类和标记 产品按砷含量分为三个牌号：As-05、As-06、As-07。 对应纯度分别为：99.999%、99.9999%、99.99999%。 3.2 化学成分 各牌号高纯砷化学成分应符合表1规定。 As含量要求： As-05 ≥99.999% As-06 ≥99.9999% As-07 ≥99.99999% 主要杂质元素含量（×10⁻⁷%）控制如下： Na、Mg、Al、Ca、Cr、Fe、Ni、Cu、Zn、Ag、Sb、Pb等元素均有不同限值要求。 其中As-05杂质总量不超过10000×10⁻⁷%；As-06不超过1000×10⁻⁷%；As-07不超过100×10⁻⁷%。