GB1316-88《光学零件镀膜减反射膜》标准中技术参数的确定
上海光学仪器研究所三
王镐龄凌洁华魏绮龄
本文叙述了这次制修订镀膜标准的依据及过程，全面介绍了各先进生产国家的减反射膜的光学参数，给出了我国减反射膜的国家标准指标并作了说明，供有关镀膜工作人员在贯彻该标准时参考。
1.镀膜标准制修订原则及过程
镀膜技术至今已发展为既普遍又广泛的特种技术，各类工厂及实验室都需要此技术手段。1977年制定的光学零件镀膜标准已完成其历史使命，例如在国外占渡膜产品五分之三的宽带减反射膜，在原标准中尚是空白。自改革开放实施以来，由于国内外产品交往日趋频繁，则要求各标准参照先进国家的标准并尽可能向国际标准靠拢，使其更好作为考核产品质量的依据，所以这次制修订镀膜标准显得迫切和及时。
现收集到国际和先进国家标准有：国际标准ISO、美军规范MIL，美国标准ANSI、两德标准DIN、日本工业规范JIS、苏联标准TOCT以及英国标准BS等。同时也大量收集了国内外有关产品的光学性能指标、表面要求、耐磨性、环境要求、探讨测试手段及方法，并对有关参数进行了反复试验、核实对比分析后，也得承认和先进国家生产水平的差距，但又要鼓励生产的提高及发展，使国家标准符合国情。标准制定过程中均邀请有关专家开会切探讨，经过初稿一征求意见稿一审查稿一报批稿四次以上反复修改最后定稿。
这次制定标准另明显的改进是使每项内容尽少涉及膜料和工艺，有利不断改善工艺，并向更新的技术高度发展，在必要时列了分类对应、使每项要求和内容得到更广泛应用。
2.减反射膜概况
2.1总体按排
考虑单层减反射膜（对应GB1316-77），双层减反射膜（对应GB1317-77）以及宽带减反射膜三者主要在光学性能上要求各异、但在表面质量、环境试验、检验方法和验收规则上均类同的特点，将上述两项标准和GB1319-77标准统归为一项GB1316-88≤光学零件镀膜减反射膜》标准，其中再列三类相对应。
按照国际标准ISO及西德DIN的要求，并结合美军MIL规范，参考了这些标推的形式即主要光学参数的要求用图和文字相结合的方式来表示，图文并茂，既直观又确切。
2.2单层、双层减反射膜实验曲线选取了三种典型折射率基底，Ⅱ分别为1.52、1.62、和1.72镀制单层氟化镁（~/4厚）以及双层一氧化硅一氟化镁减反射膜，其剩余反射曲线比见图1至5，目的是分别确定减反波段范围和剩余反射比。计算了在不同折射率基底上镀320/4(2c=540nm）厚氟化镁膜后，虽然在中心波长入。处减反效果和2/4厚膜相同，但在0.8%。处的剩余反射比见表1。计算表明在中心波长以外其剩余反射比远超过/4膜的值（对比曲线图1至3），凭此可在单层膜的剩余反射比要求上排除镀3元/4膜的可能。1 57 -
道单显成反附系制其肾域
-15203Fm#a\56.
单县减反射反射
地曲观
-时9452 Ru-14T2
单量减反射膜反射北曲线
.72325
Rmm= 2.3%
国+ Sio-s双员威及射
腾反射比曲州
Rmia t s2t
围5 5io-MfF2双层减反射
膜版射比断线
表1不同折射率n基底上镀3/4
氟化镁膜厚：在0.8A。处的剩余反射比R的计算
.60311.67
国内宽带减反膜研制概况
上海机械学院
上海光学仪器厂
248厂
江南厂
上照总厂
上海眼镜二厂
1.62~1.72
限镜片
我国宽带减反膜取得研制成果和批量生产是1977年以后的事了。表2列出了上海机械学院、上海光学仪器厂的研制数据、西安248厂和江南光学仪器厂的产品性能以及上海照相机总厂和上海眼镜二厂引进项目的指标。
图6、图7是上海照相机总厂的基底折射率n=1.67和1.605的宽带减反射膜剩余反射比的实例曲线。
Rrmaz(%)
700（元）
图6ng=1.67玻璃上三层减反射
膜反射比曲线，以kg楔形板R=4.2%为基准曲线（上照总厂1987.5实例）R(%)
在400及700mm上
Aa(nm)
（见图6～7）
ng=1.605玻瑞上非四分之bzxZ.net
六层减反射膜反射比曲线
以楔形kg玻璃
R~4.2%为基准(上照总厂1987.5实例）59
2.4各国减反射膜对剩余反射比的要求表3分别列出了1977年制定的我国国标、国际标准[ISO/TC172N（1979)]、美军规范［MIL-C-675C(1981)]的技术要求，以及德国Leitzs厂(1982)和瑞士Balzer9公司和美国OCLI(1978年）公司产品数据。3.现定减反射膜标准中剩余反射比要求3.1单层减反射膜
现定标准中单层减反射膜剩余反射比要求见图8，它和ISO/TC172N要求基本一致。我们从图1至3上分别得出了对应于图8上平直部分的波段范围，得出的经验数据是0.93～1.12^0。所以我们较国际标准更进一步明确规定了0.93元～1.12^。的波段范围（见图8），此外考虑了图1至3反射比曲线的不对称性，除了规定在可见范围内移动外，文规定了0.8元。处R≤2.5%的要求，这与原标准的（～/5）相同，也与国际标准R=2.5%值相一致，从图8的四条曲线可以看出，前述表1的计算证明本标准排斥了3元/4膜厚的可能。
图8单层减反射膜在可见区内选定，在波长0.8元g~1.12^mm上镀膜零件中心的R尺寸不超过图示曲线
3.2双层减反射膜
双层减反射膜的反射比要求见图9，通常可以制得R≤0.2%的膜（见图9虚线部分），考虑到批量生产中心波长。的漂移，和国际标准ISO相比不是以V形曲线要求而是以图9之折线代之：这样就把Rm加调整到不大于0.3%，而不再计及入。的漂移，事实上这种膜总是以为中心的较窄波段考虑，远离中心波长处R是不作要求的。60
图9双层减反射膜在几。处镀膜零件表面中心的R不大于0.3%
3.3宽带减反射膜
从表2可见国际上宽带减反射膜比都是控制在0.5以下，并以此限计算带宽，我国各单位研制工作均已达到此水平（见表3），但要考虑到常规的批量生产量较大，此类膜狼硬难以退膜，有时为色平衡等因素也不必要求过低，鉴于国家标准是规定普遍的合格标准，所以经过再三切，现行标准规定，剩余反射比最大不超过Rmax≤0.8%、带宽A》220mm，并限定在425～675mm内的平均反射比R<0.6%以控制波段两端的减反要求（见图10)。
图10宽带减反射膜，可见区内在波长11A（nm）范围内，最大反
射比R不大于0.8%，A不小于
220mm，在425~675（nm）内平均反射比R不大于0.5%
3.4剩余反射比的测试方法
反射率测试仪器现已有绝对测量仪器，测量准确度很高，但绝大多数还是点测的，使用欠方便，推荐使用各单位普遍备有的分光光度计进行测量，用折射率n=1.5163、色散为64.1的楔形玻璃作参考光束，其R参~4.2%。此外试验证明若用背面磨毛着生产、科学技术的迅猛发展还须继续修（厚>2Ⅲ加）的平板玻璃作相对比较基准和订，就宽带减反射膜而言，现定指标尚低于楔形玻璃效果相同。
国际标准，但现在象上照总厂、上海眼镜二4．结束语
厂从德国引进的项目均已达到0.5%以下的减反射膜新标准业已出版，在贯彻中将反射比，估计在下次修订标推时该指标就可进一步考核该标准的科学性、可行性和严肃和国际标准一致了。
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